- 发布时间：2020/6/18来源：深圳市捷利森科技有限公司
今年美国对中国半导体行业的进一步制裁 让光刻机再一次走进大众视视野 荷兰的ASML公司是光刻机制造的领头羊 在高端的EUV光刻机方面 ASML更是具有100%的全球市占率 一台EUV光刻机比原子弹和核航母还难造 有超过十万个零部件之多 更是卖出了约1.07亿欧元一台（人名币约8.55亿元）的天价。 
ASML在费尔德霍芬（Veldhoven）的总部 图片来源：阿斯麦官网 总部设在荷兰费尔德霍芬的ASML光刻机是芯片制造设备中最昂贵和最复杂的设备。接下来，我们将对芯片制造的整个流程和ASML公司的特定专业知识进行简化介绍。另外，整理了一个必须知道的术语列表来理解ASML的工作。
193nm: 这是一种超紫外线光波。目前是应用最广技术最成熟的芯片。另外，DUV指193nmArF准分子激光的干式和浸没式DUV光刻机 。
各类光刻机光源的具体参数 对准:晶圆片的标记与掩模版商的标记精确对准，使当前曝光的图形与晶圆上的图形精确重叠的过程。上世纪80年代，阿斯麦公司以这种参考标记为基础的对准系统而出名，这个系统至今仍在公司可以看到。
Brion: 一家专门从事计算光刻集成电路的公司，2007年被ASML收购。
CD:临界尺寸，图像中最小的细节。其质量是衡量光刻工艺的关键参数之一。
计算光刻:用于提高光刻性能的计算机辅助技术的总称。
双重曝光:也称为DP/MP。一种平版印刷技术，由于扫描仪的分辨率不足以在一次曝光中产生芯片层，因此在光刻胶覆盖的晶片上分别进行两次曝光。对于芯片制造商来说，这在经济上不是最有吸引力的选择，但由于EUV光刻技术发展的延迟，这是不得不做的选择。
DUV: 准分子激光的深紫外光源。分为193nm和248nm技术。
DUV光刻机
EUV:极紫外光源，波长大约在100到10纳米之间。在芯片制造中，EUV光刻(也缩写为EUVL)使用的光线波长为13.5nm。
EUV光刻机
半节距:指芯片内部互联线间距离的一半，也即光刻间距的一半。参见:节点。
一体化光刻技术:ASML创造的术语，指协调芯片、掩模、光刻和计量的功能，以达到最佳工艺窗口的芯片制造过程。
浸入: 浸入式光刻技术，即在透镜和晶圆片之间引入水。因为水的折射率比空气高，所以分辨率提高了。目前用于生产最先进芯片的标准使用，与193nm光相结合。
LER: 光刻胶图形边缘的粗糙程度，呈锯齿状结构。太粗糙代表不好。
掩模板:也称为掩模，一块在内部刻着线路设计图的玻璃板，光线透过它，把设计图形透射在光刻胶上。光罩是一种能缩小刻度的掩模。
传感器
计量学:用于监测光刻过程的各种测量技术的总称。可以识别机器是否正常工作。
摩尔定律:市场上每个集成电路所包含的晶体管数量每两年就会翻一番。结构越小的芯片速度越快，而且在晶圆上放置越多的芯片，越经济。最新一代的芯片花了两年多的时间来开发，尽管EUV的到来可能会消除这种延迟。
工艺节点:芯片代号。用整数表示的。过去与半节距有关(见上面)，但现在是一个营销术语，每个芯片制造商的定义都不一样。
OPC：光学邻近校正，是一种计算光刻增强技术。
刻套误差:上次和这次已完成曝光的硅片距离的大小，目前套刻误差只允许大约几个纳米。如果它们不能很好地贴合在一起，芯片就无法工作。显然，这在双重曝光中非常重要。
套刻误差控制系统及其数据流程
薄膜：保护膜，任何落在胶片上的纳米碎片都非常远导致无法成像
照片漆:光致抗蚀剂，又称光刻胶。光刻胶涂在硅片表面，主要用来将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上，是一种光敏材料。
光刻胶：曝光液
光罩: 一个可以降低刻度的罩。
扫描仪:最新一代的曝光设备，晶圆片在镜头下移动。在上一代的步进扫描仪中，晶圆片被固定在相应的位置，透镜柱一步一步地暴露晶圆片。
双工件台:是阿斯麦公司设计的生产设备，在这个双扫描仪工作下，一个工件台上的晶圆做曝光时，另一个工件台对晶圆做曝光前的准备工作，如此循环。
正常运行时间:曝光设备在不需要维护或故障的情况下连续运行的时间。这对ASML的客户来说非常重要。-
Yieldstar: ASML独立生产的光盘光刻测量工具。测量覆盖和焦点。是ASML整体光刻套件的一部分。
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TPS54360DDAR SOP8
TPS54331DR SOP8
TPS54231DR SOP8
TPS61175PWPR TSSOP14
SN74LS244NSR SOP20
SN74LS32DR SOP14
LMH6521SQ QFN32
DRV8870DDAR SOP8
DRV8824PWPR TSSOP28
NE5532DR SOP8
SN65HVD72DR SOP8
SN65HVD12DR SOP8
SN6501DBVR SOT23
LP2951-50DR SOP8
TLC2252AIDR SOP8
TLV70233DBVR SOT23
INA121U SOP8
INA226AIDGSR MSOP10
INA225AIDGKR MSOP8
LMV358IDR SOP8
TL074IDR SOP14
ADS7864YB QFP48
XTR115U SOP8
DCP010505BP DIP7
LM2576SX-12 TO263
TPS54540DDAR SOP8
LM2575SX-5.0 TO263
BQ20Z655DBTR-R1 TSSOP44
ISO3082DWR SOP16
TMS320F2812PGFA QFP176
MSP430F2272IDAR TSSOP38
MSP430F149IPMR QFP64
LM1117IMPX-3.3 SOT223
DS34C86TMX SOP16
LM26CIM5X-SPA SOT23
EP3C16F256C8N BGA256
EP3C25F256C7N BGA256
EP1C12Q240C8N QFP240
EP1K50TC144-3N QFP144
XC3S200AN-4FTG256C BGA256
XC6SLX9-2TQG144C QFP144
XC6SLX16-2FTG256C BGA256
AD7740YRMZ-REEL7 MSOP8
AD8692ARMZ-REEL7 MSOP8
ADA4610-2ARZ-RL SOP8
ADM485ARZ-REEL SOP8
AD9235BRUZ-20 TSSOP28
ADV7611BSWZ QFP64
PCF8563T/5 SOP8
LPC1768FBD100 QFP100
PCA82C251T/YM SOP8
TJA1051T/3 SOP8
74HC14D SOP14
HEF4053BT SOP16
MAX232ESE+T SOP16
MAX485ESA+T SOP8
MAX1685EEE+T QSOP16
MAX1232ESA SOP8
MAX764ESA+T SOP8
MAX5035DASA+T SOP8
MAX3250EAI+T SSOP28
MAX3232ESE+T SOP16
MAX7221CNG DIP24
CY14B256LA-SZ45XIT SOP32
CY8C4014LQI-421 QFN16
FM25CL64B-GTR SOP8
FM25W256-GTR SOP8
STM32F205RET6 QFP64
STM32F103C8T6 QFP48
STM32F103VET6 QFP100
L7805CV TO220
L7815CV TO220
LM358DR2G SOP8
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NCP1117DTARKG TO252
6N137 DIP8
FDN372S SOT23
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HAL815UT-A-2-B-1-00 TO92S
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LT1931ES5#TRMPBF SOT23
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TB6552FNG SSOP16
TLP185GB SOP4
IHLP2525CZER6R8M01 SMD
US1M-E3/61T DO214AC
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IRF840PBF TO220
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EL357N-D SOP4
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PIC10F200-I/OT SOT23
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ATMEGA48PA-AU QFP32
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LD29150DT50R TO252
MX25R6435FM2IH0 SOP8
STM32L433RCT6 QFP
SC7A20TR 丝印：1S SILAN LGA-12 重力加速度传感器
TMP235A2DBZR SOT23
TMS320F2812PGFA QFP
MASW-000834-13560T QFN
LM828M5X SOT23
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TCA9517DGKR MSOP
TPS62740DSSR WSON12
TPS7A0518PDBVR SOT23
BQ25619RTWR WQFN-24
TPS61088RHLR VQFN20
SN74AUP2G04DCKR SC70-6
LIS2DH12TR LGA12
STM32F070CBT6 LQFP48
STM32F051C8U6 QFN48
BQ25601DRTWR WQFN24
TPA6132A2RTER QFN16
OPA2348AIDCNR SOT23-8
TPS27081ADDCR SOT23-6LP5907SNX-1.8/NOPB X2SON-4
LP5907SNX-3.3/NOPB X2SON-4
原装进口连接器莫仕MOLEX
501876-2040 5018762040 2.0mm 间距 20PIN 弯针座直插
53261-0271 532610271 1.25mm 间距 接插件PCB插座头 2PIN
53398-0271 533980271 1.25mm 间距 2PIN 立贴
53398-0371 533980371 1.25mm 间距 PCB插座头3PIN 塑壳胶壳
53398-0471 533980471 1.25mm 间距 4PIN立式
53398-0571 533980571 1.25mm 间距5PIN立贴
53398-0671 533980671 1.25 mm 间距 6PIN-
54104-5031 541045031 0.5mm 间距 50PIN 抽屉上接
53047-0210 530470210 1.25MM间距 2PIN
53047-0810 530470810 1.25mm 间距 直插8PIN
53253-0370 532530370 2.0mm 间距 3PIN针座直插
47553-2001 475532001 SIM卡卡座1.8mm 高度 8PIN
47553-0001 475530001 SIM卡卡座 1.8mm 高度 8PIN
47553-2001 475532001 SIM卡卡座1.8mm 高度 8PIN
502352-0400 5023520400 2mm 间距 接插件直插4PIN外壳
105300-2100 1053002100 压接端子接插件端子
43045-0612 0430450612 3.0mm间距 6PIN 弯针直插
047388-2001 0473882001 SD卡座 翻盖SIM卡卡座 6PIN
105133-0031 1051330031 Micro-USB-B 插座立贴 USB2.0 5PIN
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